Min jaf il-metodu tat-tindif tal-magna tat-tindif ultrasoniku tal-wejfer tas-silikon?
Mar 22, 2022
Hemm tliet tipi ta 'tindif fiżiku:
1.Scrub jew Scrub: jista 'jneħħi t-tniġġis tal-partikuli u ħafna mill-film imwaħħal fuq il-film.
2.Tindif bi pressjoni għolja: huwa li sprejja l-wiċċ tal-folja b'likwidu, u l-pressjoni taż-żennuna hija sa diversi mijiet ta 'atmosfera. Tindif bi pressjoni għolja permezz ta 'azzjoni bil-ġett, film mhuwiex faċli biex jipproduċi grif u ħsara. Madankollu, injezzjoni bi pressjoni għolja se tipproduċi effett elettrostatiku, li jista 'jiġi evitat billi taġġusta d-distanza u Angolu miż-żennuna għall-film jew billi żżid aġent antistatiku.
Tindif ultrasoniku: enerġija tal-ħoss ultrasoniku fis-soluzzjoni, permezz ta 'cavitation biex taħsel it-tniġġis fuq il-wejfers. Madankollu, huwa aktar diffiċli li jitneħħew partiċelli iżgħar minn mikron 1 minn wejfers graphed. Jekk il-frekwenza tiżdied għal uHF, l-effett tat-tindif huwa aħjar.
Tindif kimiku: sabiex jitneħħa t-tniġġis atomiku, jone inviżibbli, hemm aktar metodi, estrazzjoni tas-solvent, pickling (aċidu sulfuriku, aċidu nitriku, akkwa akkwa, varjetà ta 'aċidi mħallta, eċċ.) u metodu tal-plażma. Il-metodu tat-tindif tas-sistema tal-perossidu tal-idroġenu għandu effett tajjeb u ftit tniġġis ambjentali.







